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一:十万级金沙金沙作用
电子室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的金沙日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「电子室」。

世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。


209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,电子室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。

二:十万电子乱流电子室的原理和特性


1、定义:乱流电子室的定义是气流以不均匀速度、不平行流动、伴有回流或涡流的电子室.


2、原理:乱流电子室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现电子的(乱流电子室一般设计在金沙以上至30万级电子级别)。


3、特性:乱流电子室是靠多次换气来实现电子与电子级别。换气次数决定定义中的电子级别(换气次数越多,电子级别越高)

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